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FlexSEM 1000鎢燈絲掃描電鏡
FlexSEM1000是日立公司推出的一款機(jī)型小巧性能優(yōu)異的鎢燈絲掃描電鏡，擁有大束流和低球差的物鏡和聚光鏡設(shè)計(jì)，配備了高分辨率二次電子探頭及高靈敏度五分割背散射探頭，具有的低真空成像能量，并且采用的SEM MAP高精度導(dǎo)航系統(tǒng)及的自動化功能，使性能更加*，使用更加簡便。
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TM4000/TM4000Plus臺式電子掃描電鏡
日立TM4000臺式電子掃描電鏡*的低真空系統(tǒng)使得樣品不需任何處理即可快速進(jìn)行觀察。TM4000優(yōu)化提供5kV、10kV、15kV三種不同電壓下的觀察模式，每種模式下電流4檔可調(diào)，并配備4分割背散射探測器，可采集四個(gè)不同方向的圖像信息，對樣品進(jìn)行多種模式成像。具有全新的SEM-MAP導(dǎo)航功能，同時(shí)，電鏡圖片可以報(bào)告形式導(dǎo)出。配備大型樣品倉，可容納大樣品直徑80mm，厚度50mm。
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AeroSurf 1500全新臺式大氣壓顯微鏡
2016年，日立公司推出大氣壓下全新臺式大氣壓顯微鏡AeroSurf1500，其*的設(shè)計(jì)可在大氣壓下得到清晰的掃描電子圖像。
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Hitachi SU3500新一代超高分辨鎢燈絲掃描電鏡
SU3500新一代超高分辨鎢燈絲掃描電鏡所具備的新型的模擬圖像和改進(jìn)后的電子光學(xué)系統(tǒng)以及圖像顯示算法使之能夠在低加速電壓下獲得更高的分辨率。3KV電壓時(shí)，SE圖像可達(dá)7nm,5KV電壓時(shí)，BSE圖像可達(dá)10nm。新開發(fā)的自動多級電子槍偏壓機(jī)構(gòu)能夠在不降低電子束大小的情況下，在一定范圍內(nèi)的常用加速電壓下增加發(fā)射電流。因此，此款產(chǎn)品與S-3400N相比，噪音得以大幅減少，成像更加清晰。
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Hitachi S-3700N多功能分析型可變壓掃描電鏡
研究超大，超重，多功能分析型可變壓掃描電鏡可載樣品直徑達(dá)300mm；觀察區(qū)域直徑達(dá)203mm； 在觀察110mm高樣品時(shí)可進(jìn)行能譜分析
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Hitachi SU8010高分辨場發(fā)射掃描電鏡
HITACHI SU-8010高分辨場發(fā)射掃描電鏡包括SU-8010主機(jī)和E-1045噴鉑噴碳裝置，并配備有EDAX X射線能譜儀。加速電壓為15kV時(shí)，分辨率為1.0nm，加速電壓為1kV時(shí)，分辨率為1.3nm。
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Hitachi SU9000新型超高分辨冷場發(fā)射掃描電鏡
日立2011年新推出了SU9000新型超高分辨冷場發(fā)射掃描電鏡，達(dá)到掃描電鏡高二次電子分辨率0.4nm和STEM分辨率0.34nm。日立SU9000采取了全新改進(jìn)的真空系統(tǒng)和電子光學(xué)系統(tǒng)，不僅分辨率性能明顯提升，而且作為一款冷場發(fā)射掃描電鏡甚至不需要傳統(tǒng)意義上的Flashing操作，可以高效率的快速獲取樣品超高分辨掃描電鏡圖像。
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